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因此，必须选用或亚过滤器（洁净级别低时）作为终端过滤器，对进入洁净室的空气，进行后一级过滤。为保护终端过滤器和延长其寿命，必须使空气先经中效过滤器进行过滤。（2） 根据洁净室的等级，合理选择洁净室的气流分布流型。

洁净室状态有以下三个：空气洁净室：已经建造完成并可以投入使用的洁净室（设施）。它具备所有有关的服务和功能。但是，在设施内没有操作人员操作的设备。静态洁净室：各种功能完备、设定安装妥当，可以按照设定使用或正在使用的洁净室（设施），但是设施内没有操作人员。国内曾统计过，在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10%~15%，64为储存器仅2%。动态洁净室：处于正常使用的洁净室，服务功能完善，有设备和人员；如果需要，可从事正常的工作。

紫外线的消毒同紫外线的辐射强度和照射剂量呈正相关，辐射强度随距灯管的距离增加而降低，照射剂量和照射时间成正比。因此，紫外灯同被照物之间的距离和照射时间要适合。实验室按归属可分为三类：类是从属于大学或者是由大学代管的实验室，第二类实验室属于***机构，有的甚至是国际机构。如用离地面2m的30W紫外灯可以照射9m的房间，每天照射2～3小时，期间可间隔30分钟。